特許

J-GLOBAL ID：200903011494664280

パターン形成方法

発明者： 上美谷 雅之 ,  西村 祐行 ,  各務 壽員
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 米田 潤三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-207191
公開番号（公開出願番号）：特開2000-030531
出願日： 1998年07月07日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】 プラズマディスプレイパネル等の電極パターンを高い精度で簡便に形成するためのパターン形成方法を提供する。【解決手段】 転写シートとして、導電性粉体とガラスフリットを含む無機成分と焼成除去可能な感光性樹脂組成物を含む有機成分とを少なくとも含有する転写層をベースフィルム上に備えたものを使用し、基板上に転写層を転写し、この転写層に対して50〜500μmの範囲で面内ばらつきが±50μm以内の間隙を設けてフォトマスクを配設し、このフォトマスクを介して平行光による転写層の露光を行い、その後、現像してパターニングした後、焼成して電極パターンを形成する。

請求項（抜粋）：

導電性粉体とガラスフリットを含む無機成分と焼成除去可能な感光性樹脂組成物を含む有機成分とを少なくとも含有する転写層をベースフィルム上に備えた転写シートを用いて、基板上に転写層を圧着して重ね合わせ、その後、ベースフィルムを剥離して転写層を基板上に転写し、該転写層に対して50〜500μmの範囲で面内ばらつきが±50μm以内の間隙を設けてフォトマスクを配設し、該フォトマスクを介して平行光による転写層の露光を行い、その後、現像してパターニングした後、焼成して電極パターンを形成することを特徴としたパターン形成方法。

IPC (4件)：

H01B 1/16 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/00 ,  H01J 11/02

FI (4件)：

H01B 1/16 A ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/00 K ,  H01J 11/02 B

Fターム (23件)：

5C027AA01 ,  5C040FA01 ,  5C040GA03 ,  5C040GB14 ,  5C040GC18 ,  5C040GC19 ,  5C040JA15 ,  5C040JA19 ,  5C040JA21 ,  5C040KA01 ,  5C040KA09 ,  5C040KA16 ,  5C040KB03 ,  5C040KB17 ,  5C040KB24 ,  5C040MA22 ,  5C040MA24 ,  5G301DA03 ,  5G301DA36 ,  5G301DA37 ,  5G301DA38 ,  5G301DA42 ,  5G301DD01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 厚膜パターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-045099   出願人：大日本印刷株式会社
• 感光性ペースト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-116375   出願人：東レ株式会社
• 特開平4-110855