特許

J-GLOBAL ID：200903011527724934

プラズマ生成装置におけるドロップレット除去装置及びドロップレット除去方法

発明者： 滝川 浩史 ,  椎名 祐一
出願人/特許権者： 国立大学法人豊橋技術科学大学 ,  株式会社フェローテック
代理人 (1件)： 三木 久巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-091107
公開番号（公開出願番号）：特開2006-274294
出願日： 2005年03月28日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：

【目的】 プラズマ生成装置において生成されるプラズマとドロップレットとの混合状態からドロップレットを確実に除去することができるプラズマ生成装置におけるドロップレット除去装置を提供することである。【構成】 真空アーク放電を行ってプラズマを発生させ、このプラズマとプラズマの発生時に陰極から副生するドロップレットとの混合状態であるドロップレット混合プラズマが進行する筒状進行路が設けられ、この筒状進行路の断面周方向に回転磁場を発生させる回転磁場印加手段が少なくとも1つ以上設けられ、この回転磁場印加手段により前記ドロップレット混合プラズマに回転磁場を印加し、前記ドロップレット混合プラズマを回転させながら前記筒状進行路を進行させて前記ドロップレットを遠心力により除去するプラズマ生成装置におけるドロップレット除去装置である。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

真空雰囲気下に設定されたプラズマ発生部で真空アーク放電を行ってプラズマを発生させ、プラズマの発生時に陰極から副生する陰極材料粒子(以下「ドロップレット」という)を除去するようにしたプラズマ生成装置におけるドロップレット除去装置において、前記プラズマとドロップレットとの混合状態であるドロップレット混合プラズマが進行する筒状進行路が設けられ、この筒状進行路の断面周方向に回転磁場を発生させる回転磁場印加手段が少なくとも1つ以上設けられ、この回転磁場印加手段により前記ドロップレット混合プラズマに回転磁場を印加し、前記ドロップレット混合プラズマを回転させながら前記筒状進行路を進行させて前記ドロップレットを遠心力により除去することを特徴とするプラズマ生成装置におけるドロップレット除去装置。

IPC (1件)：

C23C 14/32

FI (1件)：

C23C14/32 Z

Fターム (2件)：

4K029CA03 ,  4K029DD06

引用特許：

出願人引用 (1件)

• プラズマ加工法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-182158   出願人：伊藤光学工業株式会社, 滝川浩史