特許
J-GLOBAL ID：200903011558136909

基板の吸着・加熱装置

発明者：
小野寺 欣一

小野寺 欣一 について


出願人/特許権者：
東北日本電気株式会社

東北日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-154945
公開番号（公開出願番号）：特開2000-349430
出願日： 1999年06月02日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：
【要約】【課題】 ステージ・ブロックを上下に分割し、下側のステージ・ブロックに加熱ヒータや温度センサーを設け、上側のステージブロックを、各サイズの基板に合わせて、交換することで、交換作業を簡素化し、また、交換に際してのコストを大幅に低減できる構成の、基板の吸着・加熱装置を提供する。【解決手段】 吸着・加熱ステージ上に、PGAパッケージ装着のための基板を配置し、吸着・加熱する装置であって、前記ステージは、前記温度センサーおよび加熱手段を備えると共に、吸引源と連通する所定の吸引用流通路を上面に開口した下側ステージ・ブロックと、前記流通路に連通する通路部を下面に備えると共に、該通路部を前記吸着用凹部に連通した上側ステージ・ブロックとから構成されていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
吸着・加熱ステージ上に、PGAパッケージ装着のための基板を配置し、前記ステージ上面に所要の配列で開口した吸着用凹部に吸引力を働かせて、前記基板を吸着し、前記ステージ側に設けた温度センサーで温度制御しながら、加熱手段で加熱するようにした、基板の吸着・加熱装置において、前記ステージは、前記温度センサーおよび加熱手段を備えると共に、吸引源と連通する所定の吸引用流通路を上面に開口した下側ステージ・ブロックと、前記流通路に連通する通路部を下面に備えると共に、該通路部を前記吸着用凹部に連通した上側ステージ・ブロックとから構成されていることを特徴とする、基板の吸着・加熱装置。
IPC (3件)：
H05K 3/34 507 ,  H05K 3/34 ,  H01L 21/60 311
FI (3件)：
H05K 3/34 507 C ,  H05K 3/34 507 D ,  H01L 21/60 311 T
Fターム (9件)：
5E319AA03 ,  5E319AB05 ,  5E319BB04 ,  5E319CC33 ,  5F044KK16 ,  5F044LL01 ,  5F044LL05 ,  5F044PP04 ,  5F044PP09
引用特許：
審査官引用 (3件)

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