特許

J-GLOBAL ID：200903011570406709

フーリエ変換を用いた縞解析方法

発明者： ▲葛▼ 宗濤
出願人/特許権者： 富士写真光機株式会社
代理人 (1件)： 川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-363241
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174235
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【目的】 直交座標系で表された縞画像データが閉じた縞パターン形状をなす場合でも、このデータをそれと異なる座標系に変換することで開いた縞パターン形状とすることができ、フーリエ変換により低周波信号成分とキャリア周波数成分を分離することができるので被観察体の形状を良好に得ることができる。【構成】 閉じた干渉縞画像データに対しフーリエ変換法を用いて被観察体表面形状を解析する場合に、直交座標系で表された原画像データを一旦極座標系で表される干渉縞画像データに変換し、この変換データにフーリエ変換を施し、さらに逆極座標変換により直交座標系に戻すようにして、被観察体の表面形状を解析するようにしたもので、フーリエ・スペクトル中における、低周波信号成分とキャリア周波数成分の混在信号の中から低周波信号成分を確実に分離することを可能としたものである。

請求項（抜粋）：

直交座標系で表された被観察体の縞画像データを、異なる座標系で表される縞画像データに変換し、この変換データにフーリエ変換を施して該被観察体の該異なる座標系におけるパターンを得、この後、該異なる座標系におけるパターンを直交座標系におけるパターンに変換することを特徴とするフーリエ変換を用いた縞解析方法。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G01B 9/02

FI (2件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24 D

Fターム (30件)：

2F064AA09 ,  2F064CC03 ,  2F064CC04 ,  2F064EE01 ,  2F064FF00 ,  2F064GG22 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F064JJ15 ,  2F065AA54 ,  2F065BB05 ,  2F065DD03 ,  2F065DD04 ,  2F065FF04 ,  2F065FF51 ,  2F065GG01 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ36 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13

引用特許：

審査官引用 (3件)

• アライメント誤差補正方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-086734   出願人：株式会社ニコン
• 形状測定方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-332812   出願人：富士ゼロックス株式会社
• 貨幣識別装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-065618   出願人：三菱重工業株式会社