基板搬送装置および中間受渡し装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-335280
公開番号（公開出願番号）：特開平9-181142
出願日： 1995年12月22日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】アーム旋回半径を抑えつつ最大到達距離を伸ばす。【解決手段】 3個のアーム41,42,43を連結してアーム連結体とし、その基端部をモータ44で回動制御するとともに、プーリ61,62,64,65およびベルト63,66によってモータ44の動力を伝達し、アーム42,43同士を連結する関節部分を折り曲げつつ、基板載置アーム41の露光ユニット4に対峙する姿勢を維持しながら、基板載置アーム41を直線状に移動させる。これにより、アーム旋回半径をアーム42,43の1個分の長さに押さえつつ、露光ユニット4側への最大到達距離を3個のアーム41,42,43の合計長さまで伸ばすことができる。

請求項（抜粋）：

外部の所定の基板受渡し部に対して基板を進退させて受け渡す基板搬送装置であって、最も先端に配された基板載置アームを含んで3個以上の奇数個のアームが連結されてなるアーム連結体と、前記アーム連結体の基端部を回動制御する回動手段と、前記回動手段の回動力を伝達し、前記基板載置アーム以外の一対のアーム同士を連結する少なくとも1個の関節部分を折り曲げつつ、前記基板載置アームの前記所定の基板受渡し部に対峙する姿勢を維持しながら、前記基板載置アームを直線状に移動させる動力伝達手段と、を備えることを特徴とする基板搬送装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-092446
板状体の処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-318440 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-261671 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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