特許

J-GLOBAL ID：200903011610039186

揺動反射ミラー及びレーザー加工機

発明者： 渡辺 文雄 ,  荒井 邦夫
出願人/特許権者： 日立ビアメカニクス株式会社
代理人 (1件)： 秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-160081
公開番号（公開出願番号）：特開2000-347113
出願日： 1999年06月07日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】【課題】 高速揺動が可能で、光路に配設した際に光路を短くすることができる揺動反射ミラーを提供すること。【解決手段】 揺動軸と同軸上に重心を有し、揺動軸まわりに揺動してその反射面40において入射レーザービームを反射する反射ミラー4である。反射面40を正面視した外形輪郭に、所定の入射角で入射された入射ビームに対する楕円形状の反射スポットSの輪郭に沿う楕円輪郭部41、及び楕円輪郭部41に連続し揺動軸Xに平行な直線輪郭部42を有している。

請求項（抜粋）：

揺動軸と同軸上に重心を有し、該揺動軸まわりに揺動してその反射面においてレーザービームを反射する揺動反射ミラーにおいて、前記反射面を正面視した外形輪郭に、所定の入射角で入射されたレーザービームに対する楕円形状の反射スポットの輪郭に沿った楕円輪郭部を有していることを特徴とする揺動反射ミラー。

IPC (3件)：

G02B 26/08 ,  B23K 26/06 ,  G02B 5/08

FI (3件)：

G02B 26/08 E ,  B23K 26/06 Z ,  G02B 5/08 B

Fターム (10件)：

2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AZ03 ,  2H042DA10 ,  2H042DD00 ,  2H042DE06 ,  4E068AF00 ,  4E068CD12 ,  4E068CE03 ,  4E068DA11

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ガルバノミラー装置およびこれを用いた光ディスク装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-213411   出願人：株式会社東芝
• レーザビームスピンナ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-002768   出願人：住友電気工業株式会社
• 特開平3-248793
  
• 特開平3-248793