特許
J-GLOBAL ID:200903011618411548
磁気抵抗効果素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
野▲崎▼ 照夫
, 三輪 正義
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-048391
公開番号(公開出願番号):特開2007-227748
出願日: 2006年02月24日
公開日(公表日): 2007年09月06日
要約:
【課題】 特に、高いΔRAを維持しながら、プラトー磁界(Hpl)を従来に比べて大きくすることが可能な磁気抵抗効果素子を提供することを目的としている。【解決手段】 前記固定磁性層4を構成する第2固定磁性層4cのうち、非磁性材料層5に接する非磁性材料層側磁性層4c1が、Co2x(Mn(1-z)Fez)xαy(元素αは、3B族、4B族、あるいは5B族を構成する元素うちいずれか一つであり、x,yはいずれも原子%であり、3x+y=100原子%の関係を満たす)で表される第1のホイスラー合金層で形成される。なお含有量yは20原子%以上30原子%以下で、MnFe中に占めるFe比zは、0.2以上0.8以下である。これにより、高いΔRAを維持しながらプラトー磁界(Hpl)を大きくできる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
磁化方向が固定される固定磁性層と、前記固定磁性層に非磁性材料層を介して形成され、外部磁界により磁化方向が変動するフリー磁性層と、を有し、
前記固定磁性層は、Co2x(Mn(1-z)Fez)xαy(元素αは、3B族、4B族、あるいは5B族を構成する元素のうちいずれか一つであり、x,yはいずれも原子%であり、3x+y=100原子%の関係を満たす)で表される第1のホイスラー合金層を有して形成され、
含有量yは20原子%以上30原子%以下で、MnFe中に占めるFe比zは、0.2以上0.8以下であることを特徴とする磁気検出素子。
IPC (5件):
H01L 43/08
, H01F 10/16
, H01F 10/30
, H01F 10/32
, G11B 5/39
FI (5件):
H01L43/08 M
, H01F10/16
, H01F10/30
, H01F10/32
, G11B5/39
Fターム (31件):
5D034BA04
, 5E049AA04
, 5E049BA12
, 5E049CB02
, 5E049DB02
, 5E049DB12
, 5F092AA02
, 5F092AB03
, 5F092AC08
, 5F092AD03
, 5F092BB09
, 5F092BB10
, 5F092BB17
, 5F092BB22
, 5F092BB24
, 5F092BB31
, 5F092BB44
, 5F092BB53
, 5F092BB60
, 5F092BB66
, 5F092BB82
, 5F092BC04
, 5F092BC07
, 5F092BC18
, 5F092BC46
, 5F092BE13
, 5F092BE21
, 5F092BE24
, 5F092BE25
, 5F092CA23
, 5F092CA25
引用特許:
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