特許
J-GLOBAL ID：200903011631561079

研磨層に凹部を有する研磨シート

発明者：
堀 弥一郎

堀 弥一郎 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-299296
公開番号（公開出願番号）：特開2003-103470
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月08日
要約：
【要約】【課題】磁気ヘッド、磁気および光学ディスク、半導体ウェハ、半導体集積回路の平坦化、光学レンズ、光ファイバなど精密部品の表面や端面を仕上げ研磨する、必要最小面積の研磨層で研磨性能に優れる省資源で安価な研磨シートを提供する。【解決手段】基体フィルムの一方の面に、研磨作業時に必要となる任意のパターン状の研磨層を形成した研磨シートにおいて、研磨層に部分的な凹部を形成し、凹部が、同心円状、水玉模様、放射線状、渦巻き状、亀甲形状、斜線状などであることを特徴とし、また、研磨層が形成されていない外周部および/または内周部へ、土手層、または撥水層を設ける、さらに、研磨層凹部の底面へ粘着層を設けることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基体フィルムの一方の面に、研磨作業時に必要となる任意のパターン状の研磨層を形成した研磨シートにおいて、研磨層に、部分的な凹部を形成することを特徴とする研磨シート。
IPC (3件)：
B24D 11/00 ,  B24B 37/00 ,  B24D 7/00
FI (3件)：
B24D 11/00 M ,  B24B 37/00 C ,  B24D 7/00 P
Fターム (26件)：
3C058AA09 ,  3C058CA01 ,  3C058CA06 ,  3C058CB05 ,  3C058DA16 ,  3C058DA17 ,  3C063AA02 ,  3C063AB07 ,  3C063BA24 ,  3C063BA25 ,  3C063BA26 ,  3C063BA27 ,  3C063BA28 ,  3C063BB02 ,  3C063BB03 ,  3C063BB04 ,  3C063BC03 ,  3C063BF04 ,  3C063BG07 ,  3C063BG08 ,  3C063BH07 ,  3C063EE01 ,  3C063EE02 ,  3C063EE10 ,  3C063FF16 ,  3C063FF20
引用特許：
審査官引用 (9件)
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