特許
J-GLOBAL ID：200903011671609104
感光性セラミックス組成物及びその現像方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-121938
公開番号（公開出願番号）：特開2003-315996
出願日： 2002年04月24日
公開日（公表日）： 2003年11月06日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】フォトリソグラフィー法を用いた高アスペクト比かつ高精細のビアホール形成が可能であると共に、ビアホール形成後の状態が後工程の加工において適切な状態である、深部まで十分に光硬化した状態のシートが精度よく現像されて、通常の非感光グリーンシートと同等の伸びや引っ張り弾性率、強度を有する感光性セラミックス組成物を提供する。【解決手段】(1)で示される(メタ)アクリレート化合物とエチレン性不飽和基を有するウレタン化合物を含有する感光性有機成分と無機粉末を必須成分とする現像時の寸法変化率が1以上1.5以下であることを特徴とする感光性セラミックス組成物。CH2=CR1COO-(R2)n-R3-R0但しR0は、CH2=CR1COO-(R2)n-、水素原子、又は、ハロゲン原子である。
請求項（抜粋）：
下記一般式(1)で示される(メタ)アクリレート化合物(成分A1)とエチレン性不飽和基を有するウレタン化合物(成分A2)を含有する感光性有機成分(成分A)と無機粉末(成分B)を必須成分とする感光性セラミックス組成物であって、現像時の寸法変化率が1以上1.5以下であることを特徴とする感光性セラミックス組成物。CH2=CR1COO-(R2)n-R3-R0 (1)(一般式(1)において、R0は、CH2=CR1COO-(R2)n-、水素原子、又は、ハロゲン原子であり、R1は水素あるいはメチル基、R2はアルキレンオキサイドまたはそのオリゴマー、nは1〜5の整数であり、R3は炭素数1〜15の環式又は非環式のアルキレン、アリール、アリールエーテル、アリーレン、アリーレンエーテル、アラルキル、アラルキレンから選ばれたもの、或いは、それらに炭素数1〜9のアルキル基、ハロゲン原子、水酸基、或いはアリール基の置換基が有るものである。)
IPC (5件)：
G03F 7/027 502
, G03F 7/027 513
, G03F 7/004 501
, G03F 7/32
, G03F 7/40 521
G03F 7/027 502
, G03F 7/027 513
, G03F 7/004 501
, G03F 7/32
, G03F 7/40 521
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC34
, 2H025BC42
, 2H025BC66
, 2H025BC83
, 2H025CA00
, 2H025CC20
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H096AA27
, 2H096BA05
, 2H096EA02
, 2H096GA09
, 2H096HA01
