液晶基板の保管倉庫室

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：森治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-129941
公開番号（公開出願番号）：特開2005-311260
出願日： 2004年04月26日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：

【課題】保管倉庫室での塵埃の巻き上がりを防止することができる液晶基板の保管倉庫室を提供すること。【解決手段】液晶基板を収納するカセット1を保管する保管棚2と、カセット1をレール3に沿って搬送するスタッカクレーン4と、保管棚2に清浄空気を供給する清浄空気吹出装置5とを備えるとともに、倉庫室の端部の床面付近に開口部61を有し、この開口部61から室内の空気を吸い込む端部レタンスペース6からなる吸込機構を設ける。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

液晶基板を収納するカセットを保管する保管棚と、カセットをレールに沿って搬送する搬送装置と、保管棚に清浄空気を供給する清浄空気吹出装置とを備えた液晶基板の保管倉庫室において、倉庫室の端部の床面付近に開口部を有し、該開口部から室内の空気を吸い込む吸込機構を設けたことを特徴とする液晶基板の保管倉庫室。

IPC (4件)：

H01L21/68 , B65G1/00 , B65G49/00 , B65G49/06

FI (5件)：

H01L21/68 T , B65G1/00 521D , B65G1/00 535 , B65G49/00 A , B65G49/06 Z

Fターム (15件)：

3F022AA08 , 3F022BB08 , 3F022CC02 , 3F022EE05 , 3F022FF01 , 3F022JJ09 , 3F022QQ01 , 5F031CA05 , 5F031DA01 , 5F031DA17 , 5F031FA03 , 5F031FA11 , 5F031GA47 , 5F031GA49 , 5F031NA14

引用特許：

審査官引用 (7件)

浄化空気通風式の保管設備
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-273035 出願人：株式会社ダイフク
荷保管装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-103399 出願人：株式会社豊田自動織機製作所
移動体の給電設備
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-252228 出願人：株式会社ダイフク

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