加速度センサ及び加速度検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮▼崎▲ 主税
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-297146
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121661
出願日： 1998年10月19日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】小型化を妨げることなく、静電容量の増大を図ることができ、それによって低周波数の加速度を高精度に検出でき、さらに電荷感度の低下が生じ難い加速度センサを得る。【解決手段】第1,第2の端部を有する短冊状の圧電体2を有し、圧電体2の対向し合う一対の主面に第1,第2の信号取出し電極3,4が形成されており、一対の主面を結ぶ方向の中間に第1,第2の信号取出し電極3,4と対向し合うように中間電極5が形成されており、圧電体2が第1,第2の支持部材8,9により両端で支持されており、圧電体2の中央領域において圧電体が厚み方向に分極処理されており、第1,第2の信号取出し電極3,4が圧電体2の第1の端部に引き出されており、中間電極5が圧電体の第2の端部に引き出されている、加速度センサ1。

請求項（抜粋）：

第1,第2の端部を有する短冊状の圧電体と、前記圧電体の対向し合う一対の主面に形成された第1,第2の信号取出し電極と、前記圧電体の一対の主面を結ぶ方向の中間位置において第1,第2の信号取出し電極と対向し合うように形成された中間電極と、前記圧電体を両端で挟持して支持するように圧電体の第1,第2の主面にそれぞれ固定された第1,第2の支持部材とを備え、前記圧電体の中央領域において、圧電体が厚み方向に分極処理されており、前記第1,第2の信号取出し電極が圧電体の第1の端部に引き出されており、前記中間電極が圧電体の第2の端部に引き出されている、加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/09 , H01L 41/08

FI (2件)：

G01P 15/09 , H01L 41/08 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-060144 出願人：株式会社村田製作所
加速度検出回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-083968 出願人：株式会社トーキン
振動計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-265347 出願人：リオン株式会社, 財団法人小林理学研究所

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