感放射線性塗布組成物

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-154944
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005988
出願日： 1995年06月21日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【目的】塗布性が良好で、発泡が起こりにくい感放射線性塗布組成物を提供する。【構成】ベース樹脂、感放射線化合物、及び溶媒を含有する感放射線性塗布組成物において、溶媒として下記一般式で表わされる化合物を含有する溶媒を用い、且つノニオン素含フッ素界面活性剤を含有することを特徴とする感放射線性塗布組成物。【化1】(式中、R1 、R2 及びR3 はハロゲン原子で置換されていても良いメチル基又はエチル基を表し、相互に同じでも異なっていても良い。R4 は水素原子、ハロゲン原子で置換されていても良いメチル基又はエチル基を表す。)

請求項（抜粋）：

ベース樹脂、感放射線化合物、及び溶媒を含有する感放射線性塗布組成物において、溶媒として下記一般式で表わされる化合物を含有する溶媒を用い、且つノニオン系含フッ素界面活性剤を含有することを特徴とする感放射線性塗布組成物。【化1】(式中、R1 ,R2 及びR3 はハロゲン原子で置換されていても良いメチル基又はエチル基を表し、相互に同じでも異なっていても良い。R4 は水素原子、ハロゲン原子で置換されていても良いメチル基又はエチル基を表す。)

IPC (6件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/004 504 , G03F 7/008 , G03F 7/022 , H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/004 504 , G03F 7/008 , G03F 7/022 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (10件)

レジスト塗布組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-059928 出願人：日本合成ゴム株式会社
特開昭62-036657
特開昭62-123444

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