位置出し方法と装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-163004
公開番号（公開出願番号）：特開2006-337203
出願日： 2005年06月02日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：

【課題】位置出し用の目印の場所が電流経路に限定されるという制約をなくし、位置出しの精度を向上する。【解決手段】試料とレーザ光とを相対的に移動させて前記試料を走査し前記試料からの磁気をSQUID磁気検出器で検出し、走査位置に対応し且つ検出結果に応じた値の集りからなる像を取得し、取得された像のうち少なくとも一つの領域について、前記試料における位置の目印として、前記像の値に関する前記領域内でのピーク位置又は重心位置を求める。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料とレーザ光とを相対的に移動させて前記試料を走査し前記試料からの磁気又は電磁波を検出器で検出し、前記走査位置に対応し且つ前記検出器での検出結果に応じた値の配列からなる像を取得する工程と、取得された像のうちの少なくとも一つの領域について、前記試料における目印の位置を、前記領域内での前記像の値に関する演算により求める工程と、を有する、ことを特徴とする位置出し方法。

IPC (7件)：

G01N 27/82 , G01B 7/00 , G01B 15/00 , G01N 27/00 , G01N 27/72 , G01R 31/26 , G01R 31/302

FI (7件)：

G01N27/82 , G01B7/00 N , G01B15/00 C , G01N27/00 Z , G01N27/72 , G01R31/26 Z , G01R31/28 L

Fターム (59件)：

2F063AA03 , 2F063BA26 , 2F063BB03 , 2F063CA10 , 2F063DA01 , 2F063DB05 , 2F063GA80 , 2F067AA03 , 2F067AA45 , 2F067BB04 , 2F067CC15 , 2F067JJ02 , 2F067LL16 , 2F067NN03 , 2F067PP12 , 2F067RR28 , 2F067RR33 , 2F067SS02 , 2G003AA07 , 2G003AA10 , 2G003AG03 , 2G003AG16 , 2G003AG20 , 2G003AH05 , 2G053AA11 , 2G053AA30 , 2G053AB01 , 2G053AB14 , 2G053BA00 , 2G053BA02 , 2G053BA15 , 2G053BB03 , 2G053BB05 , 2G053BB08 , 2G053CA10 , 2G053CB01 , 2G053CB16 , 2G053CB29 , 2G053DB11 , 2G060AD01 , 2G060AE40 , 2G060AF20 , 2G060GA01 , 2G060HC08 , 2G060HC13 , 2G060HC19 , 2G060HC21 , 2G060HC22 , 2G060HD01 , 2G060HD03 , 2G060HE03 , 2G060KA09 , 2G132AA00 , 2G132AD15 , 2G132AE04 , 2G132AE22 , 2G132AF06 , 2G132AF16 , 2G132AL12

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-286914
X線回折装置における測定プロファイルのピーク位置表示方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-235978 出願人：理学電機株式会社
集束ビームの測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-003077 出願人：日本電子株式会社

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引用文献：

審査官引用 (3件)

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