特許
J-GLOBAL ID：200903011784634644
赤外線検出素子およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菊谷 公男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-141362
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337403
出願日： 1998年05月22日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】 赤外線検出素子の感度を向上する。【解決手段】 シリコン基板1はエッチングストッパ4で幅寸法を画定された基枠5の内側がエッチングされて四角錐状の凹部6となっている。基枠5に熱伝導率の低い発泡したPSG膜により形成された多孔質絶縁膜梁2を介して赤外線検知領域3を支持し、多孔質絶縁膜梁2上にp型ポリシリコンサーモパイル8、8’とn型ポリシリコンサーモパイル9、9’が配置され、各サーモパイル間がアルミ配線10で接続されている。多孔質絶縁膜梁の熱抵抗が大きいので、梁の厚さを薄くすることなく熱抵抗を増大することができるから、梁の強度を低下させずに赤外線の検出感度を向上させることができる。
請求項（抜粋）：
基枠と、該基枠に囲まれて配置された赤外線検知領域と、前記基枠と赤外線検知領域とを連結する梁とを有する赤外線検出素子であって、前記梁が多孔質絶縁膜により形成されていることを特徴とする赤外線検出素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01J 1/02 C
, G01J 5/02 C
