特許

J-GLOBAL ID：200903011803952652

投影光学系、該光学系を備えた露光装置、及び該装置を用いたデバイスの製造方法

発明者： 重松 幸二
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-335161
公開番号（公開出願番号）：特開平11-097344
出願日： 1997年12月05日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】 大きな開口数と広い投影領域とを確保しつつ両側テレセントリックにすることが可能で、且つ諸収差を極めて良好に補正し得る高性能な投影光学系を提供する。【解決手段】 物体面側から順に、部分群G1pを含み正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、部分群G2nを含み負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、少なくとも1枚の負レンズを含み正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、部分群G4nを有し負の屈折力を有する第4レンズ群G4と、部分群G5pを含み開口数を決定する開口絞りASを内部のレンズ間に有すると共に正の屈折力を有する第5レンズ群G5とを配置して構成され、これらのレンズ群、又はこれらの内部の部分群の焦点距離、物像間距離、及び開口数等との間に所定の関係が成立するものである。

請求項（抜粋）：

第1物体のパターンの像を第2物体上に形成する屈折型の投影光学系において、開口数を決定するための開口絞りと、複数のレンズ素子からなり、前記第1物体と前記開口絞りとの間に位置する前レンズ群と、複数のレンズ素子からなり、前記開口絞りと前記第2物体との間に位置する後レンズ群と、を備え、前記第1物体から前記第2物体までの距離をL、近軸上において、前記第2物体側から光軸に平行に前記投影光学系へ入射する光線が前記光軸と交わる位置から前記開口絞りまでの光軸上の距離をd、前記投影光学系の前記第2物体側の開口数をN.A.としたとき、以下の条件を満足することを特徴とする投影光学系。 0.005<d/{L×(1-N.A.)}<0.2 (A)

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-234842   出願人：株式会社ニコン
• 投影光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-000872   出願人：株式会社ニコン
• 投影光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-055979   出願人：株式会社ニコン