特許
J-GLOBAL ID：200903011820642276
カーボンナノチューブの合成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-175498
公開番号（公開出願番号）：特開2001-020071
出願日： 2000年06月12日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
要約：
【要約】【課題】 熱化学気相蒸着法によって大面積基板上に垂直整列された高純度カーボンナノチューブの大量合成方法を提供する。【解決手段】 蝕刻工程を用いて基板上に分離されたナノサイズの触媒金属粒子を形成した(30段階)後、カーボンソースガスを用いた熱化学気相蒸着法で基板に垂直整列された高純度のカーボンナノチューブを成長させる(40段階)。次に、選択的にカーボンナノチューブの合成段階後にイン-シチュでカーボンナノチューブを精製する(60段階)。
請求項（抜粋）：
基板上に触媒金属膜を形成する段階と、前記触媒金属膜を蝕刻して分離されたナノサイズの触媒金属粒子を形成する段階と、熱化学気相蒸着装置内へカーボンソースガスを供給して熱化学気相蒸着法で前記分離されたナノサイズの触媒金属粒子毎にカーボンナノチューブを成長させて基板上に垂直に整列した複数個のカーボンナノチューブを形成する段階とを含むことを特徴とするカーボンナノチューブの合成方法。
IPC (6件)：
C23C 16/26
, B01J 23/745
, B01J 23/75
, B01J 23/755
, B82B 3/00
, C01B 31/02 101
C23C 16/26
, B82B 3/00
, C01B 31/02 101 F
, B01J 23/74 301 M
, B01J 23/74 311 M
, B01J 23/74 321 M
