圧力検出装置用パッケージ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-155493
公開番号（公開出願番号）：特開2002-350264
出願日： 2001年05月24日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】小型で高感度であり、外部の圧力を正確に検出可能な圧力検出装置を提供すること。【解決手段】一方の主面に半導体素子3が搭載される絶縁基体1と、この絶縁基体1に配設され、半導体素子3の各電極が電気的に接続される複数の配線導体5および接地導体6と、絶縁基体1の他方の主面との間に密閉空間を形成するように可撓な状態で絶縁基体1に接合された絶縁板2と、絶縁基体1の他方の主面に被着され、配線導体5の一つ5aに電気的に接続された静電容量形成用の第一電極8と、絶縁板2の内側主面に被着され、配線導体5の他の一つ5bに電気的に接続された静電容量形成用の第二電極9とを具備する圧力検出装置用パッケージであって、第一電極8および第二電極9と接地導体6との間に形成された静電容量値が第一電極8と第二電極9との間に形成された静電容量値の50%以下である。

請求項（抜粋）：

一方の主面に半導体素子が搭載される搭載部を有する絶縁基体と、該絶縁基体に配設され、前記半導体素子の電極が電気的に接続される複数の配線導体および接地導体と、前記絶縁基体の他方の主面との間に密閉空間を形成するように可撓な状態で前記絶縁基体に接合された絶縁板と、前記密閉空間内の前記他方の主面に被着され、前記配線導体の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第一電極と、前記絶縁板の内側主面に前記第一電極と対向するように被着され、前記配線導体の他の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第二電極とを具備して成る圧力検出装置用パッケージであって、前記第一電極および前記第二電極と前記接地導体との間に形成された静電容量値が前記第一電極と前記第二電極との間に形成された静電容量値の50%以下であることを特徴とする圧力検出装置用パッケージ。

Fターム (8件)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD09 , 2F055EE25 , 2F055FF11 , 2F055FF49 , 2F055GG11

引用特許：

審査官引用 (6件)

圧力センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-072532 出願人：本田技研工業株式会社, 株式会社長野計器製作所
特開平4-143628
静電容量式圧力センサユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-283761 出願人：北陸電気工業株式会社

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