ガスセンサ素子の製造方法およびガスセンサ素子

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：伊藤求馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-035194
公開番号（公開出願番号）：特開2004-245680
出願日： 2003年02月13日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：

【課題】Rh2 O3 の還元・分解による酸素イオン電流を低減し、正確にNOx等の特定ガス成分濃度を検出することができるガスセンサ素子を提供する。【解決手段】ガスセンサ素子1に、被測定ガスが導入される内部空間7内の酸素濃度を調整する酸素ポンプセル2と、被測定ガス中のNOx濃度を検出するセンサセル4を設け、センサセル4の内部空間7に面する電極4aをRhを含有するサーメット電極とする。ガスセンサ素子1は、酸素ポンプセル2とセンサセル4を積層して焼成した後、予めセンサセル4へ通電する処理を行い、焼成工程においてセンサセル4の内部空間7に面する電極4a中に生じたRh2 O3 を金属Rhに還元してある。NOx濃度の検出時に、Rh2 O3 の還元・分解による酸素イオン電流が加算されず、NOxの還元・分解による酸素イオン電流のみを精度よく検出できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

所定の拡散抵抗の下に被測定ガスが導入される内部空間と、酸素イオン導電性の固体電解質体の表面に、一方の電極が上記内部空間に面するように設けられた一対の電極を有し、これら一対の電極への通電により上記内部空間に酸素を導入または排出して上記内部空間内の酸素濃度を調整する酸素ポンプセルと、酸素イオン導電性の固体電解質体の表面に、一方の電極が上記内部空間に面するように設けられた一対の電極を有し、被測定ガス中の特定ガス成分濃度を検出するセンサセルを有し、上記センサセルの上記内部空間に面する電極がロジウムを含有するサーメット電極であるガスセンサ素子の製造方法において、上記酸素ポンプセルと上記センサセルを積層して焼成する工程と、該焼成工程において上記センサセルの上記内部空間に面する電極中に生じた酸化ロジウムを、上記センサセルへの通電により金属ロジウムに還元する工程とを有することを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。

IPC (2件)：

G01N27/416 , G01N27/419

FI (5件)：

G01N27/46 331 , G01N27/46 327C , G01N27/46 327E , G01N27/46 327G , G01N27/46 327J

引用特許：

審査官引用 (5件)

窒素酸化物センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-234337 出願人：株式会社リケン
ガス検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-327892 出願人：株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー
NOxガス検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-304100 出願人：株式会社豊田中央研究所, 株式会社デンソー

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