特許
J-GLOBAL ID:200903012010261922
イメージング方法及び装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
西山 恵三
, 内尾 裕一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-160767
公開番号(公開出願番号):特開2009-075070
出願日: 2008年06月19日
公開日(公表日): 2009年04月09日
要約:
【課題】 テラヘルツ波を用いたイメージングを行う際に、可視化しては不都合な部分も可視化される。【解決手段】 30GHzから30THzの周波数成分を含む電磁波を検査対象に照射する工程と、光学的手段を用いて前記検査対象からの透過電磁波もしくは反射電磁波のフーリエ変換像を得る工程を有する。更に、前記フーリエ変換像に空間周波数フィルタリングを施す工程を有することを特徴とするイメージング方法である。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
テラヘルツ波を用いてイメージングするための方法であって、
テラヘルツ波を発生させる工程と、
前記発生させる工程にて発生し、且つ検査対象を透過あるいは反射したテラヘルツ波を用いて得る、前記検査対象の第1のフーリエ変換像を取得する工程と、
前記第1のフーリエ変換像の空間周波数フィルタとして用いる第2のフーリエ変換像を取得する工程と、
前記第1のフーリエ変換像と前記第2のフーリエ変換像とを演算する工程と、を含むことを特徴とするイメージング方法。
IPC (3件):
G01N 21/35
, G01N 22/02
, G01N 22/00
FI (3件):
G01N21/35 Z
, G01N22/02 B
, G01N22/00 S
Fターム (17件):
2G059AA05
, 2G059BB12
, 2G059DD12
, 2G059EE02
, 2G059EE12
, 2G059FF01
, 2G059GG01
, 2G059HH01
, 2G059HH06
, 2G059JJ02
, 2G059JJ11
, 2G059JJ17
, 2G059JJ22
, 2G059KK04
, 2G059MM01
, 2G059MM10
, 2G059PP04
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (4件)
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隠蔽された物体の検知
公報種別:公表公報
出願番号:特願2006-538110
出願人:バッテルメモリアルインスティチュート
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画像検査方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-130734
出願人:独立行政法人科学技術振興機構
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電磁波イメージングシステム
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-049889
出願人:キヤノン株式会社
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固体撮像装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-172906
出願人:キヤノン株式会社
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