特許
J-GLOBAL ID：200903012048494955
ワイヤーグリッド偏光子製造システム及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 由己男
, 稲積 朋子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-317914
公開番号（公開出願番号）：特開2008-046580
出願日： 2006年11月27日
公開日（公表日）： 2008年02月28日
要約：
【課題】ワイヤーグリッド偏光子の大型化、製造時間の短縮、及びワイヤーグリッドパターンの加工精度の向上をいずれも可能なワイヤーグリッド偏光子製造システム及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明によるワイヤーグリッド偏光子製造システムはスタンピングユニットと硬化ユニットとを含む。スタンピングユニットは、所定のパターンの形成されたスタンプを備え、そのスタンプを基板上に形成されたフォトレジストの上に圧着させ、そのスタンプのパターンをそのフォトレジストに転写する。硬化ユニットはそのフォトレジストを硬化させる。本発明によるこのシステムでは特に、スタンピングユニットと硬化ユニットとが異なるチャンバーを含み、インラインに設けられている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板の上に金属薄膜層を形成する蒸着ユニット、
前記金属薄膜層の上にフォトレジストを塗布し、前記フォトレジストをべークするコーティングユニット、
パターンの形成されたスタンプを含み、前記スタンプを前記フォトレジストの上に圧着して前記スタンプのパターンを前記フォトレジストに転写するスタンピングユニット、及び、
前記スタンピングユニットのチャンバーとは別のチャンバー内で前記フォトレジストを硬化させる硬化ユニット、
を備えているワイヤーグリッド偏光子製造システム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2H049BA02
, 2H049BA45
, 2H049BC08
, 2H049BC09
, 2H049BC21
