圧力センサとその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：廣澤勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-347075
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160178
出願日： 1997年12月01日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】小型化が容易に可能であり、センサケースとその収容部材との接合強度が高く、接合部分の気密性も高い圧力センサを提供する。【解決手段】半導体の圧力センサ素子15と、圧力センサ素子15を収容し保持したセンサケース17と、圧力センサ素子15に電気的に接続しセンサケース17と一体的にインサート成形されたリードフレーム20と、リードフレーム20が表面実装されたプリント基板28を備える。プリント基板28に表面実装されたセンサケース17を、ハウジング32に収容する。センサケース17は、圧力センサ素子15へ圧力を導入する圧力導入筒17を一体的に備え、この圧力導入筒17の突出方向にリードフレーム20が延出している。センサケース17は、ハウジング32内で樹脂42中に埋設され、この樹脂42からセンサケース17の圧力導入筒24が突出している。

請求項（抜粋）：

半導体の圧力センサ素子と、この圧力センサ素子を収容し保持したセンサケースと、上記基圧力センサ素子に電気的に接続し上記センサケースと一体的にインサート成形されたリードフレームと、上記リードフレームが表面実装されたプリント基板と、上記プリント基板に表面実装された上記センサケースを収容したハウジングとを設けたことを特徴とする圧力センサ。

引用特許：

審査官引用 (5件)

ガス圧力検知装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-206679 出願人：松下電器産業株式会社
特開平4-155970
半導体圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-174354 出願人：北陸電気工業株式会社

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