特許

J-GLOBAL ID：200903025958804278

ガス圧力検知装置

発明者： 新井 利則 ,  久保 幸作
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-206679
公開番号（公開出願番号）：特開平8-068709
出願日： 1994年08月31日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：

【要約】【目的】 耐ガス性処理により信頼性を一層向上する。【構成】 半導体の圧力センサ素子1は、圧力導入管4の緩衝用溝上面に気密状態で保持し、圧力検知通路を構成している。回路基板10には増幅回路等の電気回路が形成されている。これらの内部部品は、表面をポッティング剤11でコーティングされ樹脂ケース6に収容されている。この樹脂ケース6の上部の圧力調整孔12の周囲に接着剤9を介してセンサーケース5を気密状態に保持する事により構成された圧力室13がある。

請求項（抜粋）：

受圧膜の受圧歪みを電気信号として出力する圧力センサ素子と、ガス圧力検知通路を構成し、前記圧力センサ素子の受圧膜の端部の耐ガス性接着剤が応力緩衝材として機能するように緩衝用溝に耐ガス性接着剤を充填して前記圧力センサ素子を保持する圧力導入管と、前記圧力センサ素子からの電気信号を回路基盤に伝送するリードフレームと、前記圧力センサ素子からの電気信号を、前記圧力センサ素子の温度特性データにより調整及び増幅し装置外へ伝送する回路基盤と、前記圧力センサ素子の受圧膜の非受圧面を大気に開放する圧力調整孔を前記圧力センサ素子の受圧面と非受圧面を気密に遮断するゲル状の充填材を介して非受圧面側の空間に穿設した圧力室とを備えたガス圧力検知装置。

IPC (3件)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 19/04 ,  G01L 19/14

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-225342   出願人：松下電器産業株式会社, 北陸電気工業株式会社
• 半導体圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-340809   出願人：富士電機株式会社
• 特開平2-248830
  
• 特開平2-248830