ビームガイドのためのスイッチ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中平治
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-556371
公開番号（公開出願番号）：特表2003-521739
出願日： 2001年01月31日
公開日（公表日）： 2003年07月15日
要約：

【要約】少なくとも1つのビームガイドスイッチを有するビームガイドスイッチ装置は、サンドイッチウエーハから製造される。サンドイッチウエーハは、基板、カバー層及び電気的に絶縁する中間層を有する。それぞれのビームガイドスイッチは、可動のスイッチ部分(7)、及び平面内にあるようになった少なくとも2つのビームガイド端部(6)を有し、これらのビームガイド端部は、スイッチ部分(7)によってビームガイド端部(6)から生じるビーム(14)を、別のガイド端部(6)へのその光経路において遮断可能であり、又はここに反射可能であるように、互いに近くに隣接して配置されている。ガイド端部(6)の間においてスイッチ部分(7)を有する中間空間(5)は、所定の屈折率を有するインデックス整合液(87)によって満たされており、かつそれぞれのビームガイド(49)のビームを案内するコア(8)は、インデックス整合液(87)の屈折率と液体を満たされた空間における空いたコアプロファイル(13)との共同作用において、ビームのコリメーション(14)を達成できるように、先細に形成されている。

請求項（抜粋）：

基板(70)、カバー層(73)及び電気的に絶縁する中間層(71)を有するサンドイッチウエーハ(39)から製造され、その際、それぞれのビームガイドスイッチ(2,100,100aa-100dd;166)が、少なくとも1つの可動のスイッチ部分(7,101,101aa-101dd;152;165a-d)、及び平面内にあるようになった少なくとも2つのビームガイド端部(6,133aa-133dd,134aa-134dd;170a-f)を有し、これらのビームガイド端部が、スイッチ部分(7.1,7.2,101,101aa-101dd;165a-d)によってビームガイド端部(6,133aa-133dd,134aa-134dd;151a,151b;170a-f)から生じるビームを、別のガイド端部(6,133aa-133dd,134aa-134dd;151a,151b;170a-f)へのその光経路において遮断可能であり、又はここに反射可能であるように、互いに近くに隣接して配置されている、少なくとも1つのビームガイドスイッチ(2,100,100aa-100dd;166)を有するビームガイドスイッチ装置(4,120)において、ガイド端部(6,133aa-133dd,134aa-134dd;151a,151b;170a-f)の間においてスイッチ部分(7,101,101aa-101dd;152;165a-d)を収容する中間空間(5,135aa-135dd;154;171)が、所定の屈折率を有するインデックス整合液によって満たされており、かつそれぞれのビームガイド(49;169a-f)のビームを案内するコア(8)が、インデックス整合液の屈折率と液体を満たされた空間(5,135aa-135dd;154;171)における空いたコアプロファイル(13)との共同作用において、ビームのコリメーション(14)を達成できるように、先細に形成されていることを特徴とする、少なくとも1つのビームガイドスイッチ(2,100,100aa-100dd;166)を有するビームガイドスイッチ装置(4,120)。

IPC (2件)：

G02B 26/08 , B81B 3/00

FI (2件)：

G02B 26/08 E , B81B 3/00

Fターム (6件)：

2H041AA14 , 2H041AA16 , 2H041AB13 , 2H041AC06 , 2H041AZ02 , 2H041AZ08

引用特許：

審査官引用 (4件)

振動構造物及び振動構造物を備えるアクチュエータと振動構造物の固有振動数の制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-279132 出願人：三星電子株式会社, 韓国科学技術院
特許第9989006号
特開平3-063606

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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