特許
J-GLOBAL ID：200903012167949928
リソグラフィ光学システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
浅村 皓
, 浅村 肇
, 森 徹
, 岩本 行夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-082963
公開番号（公開出願番号）：特開2005-277421
出願日： 2005年03月23日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】リソグラフィにおいて使用される光学システムの要求は、例えば非常に寸法の小さい、かつ高精度の構造を提供可能にするため、非常に厳しい。この事実から、そうした高品質の光学システムを提供することが求められているだけでなく、光学システムの使用中、そのような高品質を維持可能にすることも望まれる。【解決手段】リソグラフィ光学システムをここに提示する。光学システムは、それの中に2つの透光窓と少なくとも1つの可動レンズを有したハウジングと、かつ、該ハウジングの外側に配置された少なくとも1つの他の光学素子を配備する。少なくとも1つの他の光学素子をハウジングの外側に配備することにより、該少なくとも1つの他の光学素子によってもたらされる、可動レンズ光学品質への考えられる有害な影響が減じられる。可動レンズを有したハウジングをパージすることが可能であり、また、該ハウジングにリニアモータや、レンズの非接触動作のためのガスベアリングを配備することが可能である。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
第一チャンバ、第一透光窓、第二透光窓、および、該第一チャンバ内に配置された少なくとも1つの可動レンズとを含んだ第一ハウジングと、
該第一チャンバと連通する少なくとも1つのガス交換開口と、
該第一ハウジングの外側に配置された少なくとも1つの追加の光学素子とを具備するリソグラフィ光学システムにおいて、光路は、該第一透光窓、該第二透光窓、少なくとも1つの該可動レンズ、および少なくとも1つの該追加光学素子によって画定されるリソグラフィ光学システム。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/30 515D
, H01L21/30 503G
5F046AA28
, 5F046CB01
, 5F046CB05
, 5F046CB08
, 5F046CB12
, 5F046CB15
, 5F046CB20
, 5F046CB25
, 5F046DA27
