特許
J-GLOBAL ID：200903012233422693

ITO残渣の除去・洗浄方法

発明者：
樹山 茂憲

樹山 茂憲 について

, 
田中 秀樹

田中 秀樹 について


出願人/特許権者：
グンゼ株式会社

グンゼ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-309909
公開番号（公開出願番号）：特開平9-125263
出願日： 1995年11月02日
公開日（公表日）： 1997年05月13日
要約：
【要約】【課題】 ITO膜の電気回路板の製造において、非回路部分のITO膜エッチング除去後のITO残渣を迅速、確実に、損傷を与えることなく除去洗浄する方法の提供。【解決手段】 ITO膜電気回路板を作製するに際して、エッチングの適切な時間内に溶解除去されずに残存(非電気回路部分)するITO残渣を、水の存在でロール状ブラシ、例えば線径64μmのナイロン66マルチフィラメントによって作られたロールブラシの自動回動によって、ブラッシングする。ITO残渣は、すみやかに完全に除去・洗浄される。ロール状ブラシは、他にポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンのマルチフィラメントによっても同様に除去・洗浄される。
請求項（抜粋）：
シート状基体に形成されたITO導電膜の非回路部分を、酸エッチングによって溶解除去した後、該非回路部分に残るITO残渣を除去・洗浄する方法において、合成繊維からなるロール状ブラシを自動回転させ、水洗することを特徴とするITO残渣の除去・洗浄方法。
IPC (5件)：
C23F 1/00 104 ,  C23C 14/58 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336
FI (4件)：
C23F 1/00 104 ,  C23C 14/58 Z ,  H01L 21/304 341 B ,  H01L 29/78 627 Z
引用特許：
審査官引用 (8件)
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