特許

J-GLOBAL ID：200903012246628479

レジスト組成物

発明者： 阿部 信紀 ,  田中 秀行 ,  杉本 達也
出願人/特許権者： 日本ゼオン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-021250
公開番号（公開出願番号）：特開平8-194308
出願日： 1995年01月13日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：

【要約】【目的】 新規な感放射線性レジスト組成物を提供する。【構成】 樹脂結合剤(a)、活性化放射線に露光されると酸を生成する放射線感応性成分(b)および特定化合物(c)を含む放射線感応性組成物であって、特定化合物(c)が置換基が1以上である置換アリルオキシ基を含有する化合物であることを特徴とするレジスト組成物。

請求項（抜粋）：

樹脂結合剤(a)、活性化放射線に露光されると酸を生成する放射線感応性成分(b)および特定化合物(c)を含む放射線感応性組成物であって、特定化合物(c)が置換基が1以上である置換アリルオキシ基を含有する化合物であることを特徴とするレジスト組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

• レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-285187   出願人：日本ゼオン株式会社
• 酸に不安定な溶解抑制剤、及びそれらに基づいたポジ型及びネガ型感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-263211   出願人：チバ-ガイギーアクチエンゲゼルシヤフト
• レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-125006   出願人：株式会社東芝