特許
J-GLOBAL ID：200903012260995859
圧電アクチュエータの形成方法及び該方法を用いたインクジェットヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-331906
公開番号（公開出願番号）：特開2001-150687
出願日： 1999年11月22日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：
【要約】【課題】 圧電アクチュエータやインクジェットヘッドの生産性を可及的に向上させる。【解決手段】 複数の基板41を用意し、該複数の基板41上全体にPt膜42を形成し、このPt膜42をパターン化することで個別電極24を形成する。このパターン化の際、複数の基板41を基板位置決め治具51の基板セット部51aにセットすることで互いに位置決めしておく。続いて、上記個別電極24を形成した複数の基板41上全体にPZT膜及びCr膜を順次形成することで、圧電素子23及び共通電極22を形成し、この複数の基板41上の共通電極22と、予め圧力室用開口部55aを形成した圧力室形成用の1つの圧力室形成部品55とを固定する。この固定の際にも、複数の基板41を基板位置決め治具51により互いに位置決めしておく。そして、上記固定後に複数の基板41を除去する。
請求項（抜粋）：
圧電素子の厚み方向両面にそれぞれ電極が配設されてなる圧電アクチュエータの形成方法であって、複数の基板を用意し、該複数の基板上に圧電素子膜と2つの電極膜とを形成して積層する工程と、上記複数の基板上において少なくとも上記両電極膜のうちの一方を、該複数の基板を互いに位置決めした状態でパターン化する工程とを含むことを特徴とする圧電アクチュエータの形成方法。
IPC (3件)：
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
2C057AF93
, 2C057AG45
, 2C057AP02
, 2C057AP24
, 2C057AP32
, 2C057AP52
, 2C057AP77
, 2C057BA03
, 2C057BA14
