特許
J-GLOBAL ID:200903012272585648
モアレ縞を用いたずれ、パタ-ンの回転、ゆがみ、位置ずれ検出方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
杉村 興作
, 徳永 博
, 岩佐 義幸
, 藤谷 史朗
, 来間 清志
, 冨田 和幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-260836
公開番号(公開出願番号):特開2007-071769
出願日: 2005年09月08日
公開日(公表日): 2007年03月22日
要約:
【課題】モアレ縞を観察することにより、画素オーダー以下の精度で、容易に画素合わせや位置合わせを行なうことを目的とする。【解決手段】ピッチが2画素のテストパターンを表示もしくは貼付したパターンを画素が2次元に配列している撮像素子により撮影し、撮影された画像に対して隣り合う上下左右の4画素との差の絶対値の和を計算する画像処理を行い、所定のモアレ縞本数を具えるモアレパターンが得ることにより、光学系のずれ、パターンの回転及び位置のずれを検出する。【選択図】図4
請求項(抜粋):
ピッチが2画素のテストパターンを表示もしくは貼付したパターンを画素が2次元に配列している撮像素子により撮影し、撮影された画像に対して隣り合う上下左右の4画素との差の絶対値の和を計算する画像処理を行い、所定のモアレ縞本数を具えるモアレパターンを得ることを特徴とする光学系のずれ、パターンの回転及び位置のずれ検出方法。
IPC (3件):
G01B 11/00
, G01B 11/26
, G06T 1/00
FI (3件):
G01B11/00 H
, G01B11/26 H
, G06T1/00 305C
Fターム (39件):
2F065AA09
, 2F065AA20
, 2F065AA39
, 2F065AA53
, 2F065CC17
, 2F065CC21
, 2F065DD03
, 2F065DD06
, 2F065EE00
, 2F065FF01
, 2F065FF06
, 2F065FF61
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL12
, 2F065LL62
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ27
, 2F065QQ28
, 2F065QQ31
, 2F065QQ33
, 2F065RR06
, 2F065RR09
, 2F065UU05
, 2F065UU07
, 5B057AA03
, 5B057CA08
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057CB08
, 5B057CB12
, 5B057CB16
, 5B057CC02
, 5B057DA07
, 5B057DB02
, 5B057DB09
, 5B057DC08
引用特許: