部品収納装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石原勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-270954
公開番号（公開出願番号）：特開平10-114424
出願日： 1996年10月14日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】部品収納装置で、収納する円盤状部材の安定な支持および位置決めを保証して、しかも、十分な純水噴霧ができ、洗浄効果が得られるようにすることを目的とする。【解決手段】円盤状部材1の外周の3箇所に対向する保持部材2〜4の上端どうしをおよび下端どうしをそれぞれ上連結部材5および下連結部材6により連結し、各保持部材2〜4に円盤状部材1の外周部の下面を同一高さに受け止める支持面11と、この支持面11に受け止めた円盤状部材1を側方より受け止めて位置決めする位置決め面12とを設け、隣接する2つの保持部材2、3間の相対向し合う位置決め面12、12の上部を外方に向け拡張して円盤状部材1の直径Dよりも大きな相互間隔Sとした円盤状部材1の出し入れ溝を設けることにより、上記の目的を達成する。

請求項（抜粋）：

円盤状部材の外周の複数箇所に対向するように配された複数の保持部材の上端どうしを上連結部材により、下端どうしを下連結部材によりそれぞれ連結し、各保持部材に円盤状部材の外周部の下面を同一高さに受け止める支持面と、この支持面に受け止めた円盤状部材を側方より受け止めて位置決めする位置決め面とを設けた部品収納装置において、保持部材をこれの支持面で支持する円盤状部材の円周方向3箇所に設けることにより、各保持部材の位置決め面にて円盤状部材の外周の3点を受け止めるようにし、隣接する2つの保持部材間の相対向し合う位置決め面の上部を外方に向け拡張して円盤状部材の直径よりも大きな相互間隔とした円盤状部材の出し入れ溝を設けたことを特徴とする部品収納装置。

引用特許：

審査官引用 (11件)

基板処理方法および処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-316638 出願人：クロリンエンジニアズ株式会社
特開昭62-016516
ウェーハ支持具
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-142471 出願人：広島日本電気株式会社

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