特許

J-GLOBAL ID：200903012299673670

マイクロ波を用いた非破壊評価装置

発明者： 坂 真澄 ,  巨 陽
出願人/特許権者： 株式会社 東北テクノアーチ
代理人 (1件)： 重信 和男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-089715
公開番号（公開出願番号）：特開2001-281167
出願日： 2000年03月28日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：

【要約】【課題】 発散の特性を有するマイクロ波を微小領域に集束させ、感度を高めてスタンド・オフ距離を大きくとることを可能にする非破壊評価装置の提供。【解決手段】 基台28に載置された被検査体10の上方には送受信部を含むセンサ50が設けられている。このセンサ50は、一例としてホーン・アンテナ52を備えた送受信部とマイクロ波を集束させるための反射鏡54とで構成されており、センサ支持部材26により固定されている。送受信部が楕円体の一方の焦点Aに位置しているホーン・アンテナ52からマイクロ波を照射すると、楕円面60からなる反射鏡54を介して、焦点Bにある被検査体10にマイクロ波を集束させることができる。さらに楕円面を用いることにより、焦点Bまでの入射波の行路が一定となるため、点Bで同位相となり振幅は最大となる。

請求項（抜粋）：

被検査体をマイクロ波を用いて非破壊で検査する非破壊評価装置であって、マイクロ波を送信する送信部と、前記送信部からのマイクロ波を、前記被検査体に集束する反射鏡と、前記被検査体からの反射波または透過波を受信する受信部と、前記受信部が受信したマイクロ波の反射波または透過波を測定する測定部とを備えることを特徴とする非破壊評価装置。

IPC (2件)：

G01N 22/02 ,  G01N 22/00

FI (3件)：

G01N 22/02 A ,  G01N 22/00 P ,  G01N 22/00 S

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 球体表面検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-094413   出願人：日本精工株式会社
• 球体表面検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-078145   出願人：日本精工株式会社
• 特開昭52-046885