基板の位置決め装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井秀隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-070428
公開番号（公開出願番号）：特開平10-256352
出願日： 1997年03月06日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】ハンドの熱による経時的な膨張に影響されず、基板に大きな負荷をかけずに基板を正確に位置決めできる基板の位置決め装置を提案する。【解決手段】基板Sを摺動自在に載置したハンド6の一側方には、基板Sの外周縁に当接するローラ12と、ローラ12を基板Sとの近接,離反方向に往復駆動するシリンダ17と、基板Sとの近接方向への駆動ストロークを規制するストローク規制棒19とを有する基準側プッシャ11が設けられ、基準側プッシャと対向する位置には、ローラ22と、ローラ22を基板Sとの近接,離反方向に往復駆動するシリンダ27とを有する押圧側プッシャ21が設けられる。押圧側プッシャ21の押圧力は基準側プッシャ11の押圧力より小さくかつ基板Sの平面方向の破壊強度より十分小さな力に設定され、基準側プッシャ11は押圧側プッシャ21より先に基板との近接方向に駆動され、かつ押圧側プッシャ21より後で基板との離反方向に駆動される。

請求項（抜粋）：

基板より幅狭なハンドの上に基板を摺動自在に載置し、このハンド上で基板を位置決めする装置であって、ハンドの一側方には、基板の外周縁に当接する当接部と、当接部を基板との近接方向および離反方向に往復駆動する駆動手段と、基板との近接方向への駆動ストロークを規制するストローク規制手段とを有する基準側プッシャが設けられ、ハンドを間にして基準側プッシャと対向する位置には、基板の外周縁に当接する当接部と、当接部を基板との近接方向および離反方向に往復駆動する駆動手段とを有する押圧側プッシャが設けられ、押圧側プッシャの押圧力は基準側プッシャの押圧力より小さくかつ基板の平面方向の破壊強度より十分小さな力に設定され、基準側および押圧側のプッシャが基板との近接方向のストローク限度位置まで駆動されたとき、双方のプッシャの当接部の間隔は基板の外径寸法公差より小さく設定され、基準側プッシャは押圧側プッシャより先に基板との近接方向に駆動され、かつ押圧側プッシャより後で基板との離反方向に駆動されることを特徴とする基板の位置決め装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-245914 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板支持アーム
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-095293 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
真空処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-222128 出願人：東京エレクトロン山梨株式会社

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