特許
J-GLOBAL ID:200903012312038807

計算機ホログラムから成る位置合わせマークおよびこのマークを有する表示体

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-254187
公開番号(公開出願番号):特開2004-093852
出願日: 2002年08月30日
公開日(公表日): 2004年03月25日
要約:
【課題】ドット単位で構成された計算機ホログラムにより再生される情報に位置検出のための様々な情報を含み、精度の高い位置合わせのためのセンサーマークとして機能する計算機ホログラムを用いた位置合わせマークを提供する。また、前記位置合わせマークを適用することで、基材の位置を正確に合わせることが可能な表示体を提供する。【解決手段】平面状の基材表面に、複数個のドットから構成される位置合わせマークにおいて、前記ドットは、当該ドットの配置位置情報を記録した計算機ホログラムからなることを特徴とする位置合わせマークを用いる。【選択図】図3
請求項(抜粋):
平面状の基材表面に、複数個のドットから構成される位置合わせマークにおいて、前記ドットは、当該ドットの配置位置情報を記録した計算機ホログラムからなることを特徴とする位置合わせマーク。
IPC (2件):
G03H1/08 ,  G03H1/18
FI (2件):
G03H1/08 ,  G03H1/18
Fターム (5件):
2K008AA17 ,  2K008CC01 ,  2K008EE04 ,  2K008FF27 ,  2K008HH19
引用特許:
審査官引用 (10件)
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引用文献:
審査官引用 (1件)
  • ホログラフィー, 19971105, p.25-29

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