特許
J-GLOBAL ID：200903012332167425

液晶パネル用検査ステージ

発明者：
安東 由行

安東 由行 について

, 
藤原 慎治

藤原 慎治 について


出願人/特許権者：
株式会社日本マイクロニクス

株式会社日本マイクロニクス について


代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-180275
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014956
出願日： 1997年06月23日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】 液晶パネルが搬送手段に対し多少変位しても、検査位置における精密アライメントを可能にすることにある。【解決手段】 液晶パネルの検査ステージは、多角形の液晶パネルの隣り合う2つの端縁を受けるべくワークテーブルのパネル受け面から突出する第1および第2のストッパ手段と、液晶パネルの隣り合う2つの端縁を両ストッパ手段に当接させるべく液晶パネルを押圧する押圧手段とを備え、パネル受け面上において液晶パネルの隣り合う2つの端縁を押圧手段により両ストッパ手段に押圧する。これにより、パネル受け面に配置された液晶パネルの位置を精密アライメントにおいて許される許容値以内に修正することができ、また大きな液晶パネルを安定した状態で正確に検査することができる。
請求項（抜粋）：
多角形の液晶パネルを受ける受け面を備えるワークテーブルと、液晶パネルの隣り合う2つの端縁を受けるべく前記受け面から突出する第1および第2のストッパ手段と、液晶パネルの隣り合う2つの端縁を両ストッパ手段に当接させるべく液晶パネルを押圧する押圧手段とを含む、液晶パネル用検査ステージ。
IPC (2件)：
G02F 1/13 101 ,  G01R 31/00
FI (2件)：
G02F 1/13 101 ,  G01R 31/00
引用特許：
審査官引用 (4件)
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