基板外観検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-098712
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306153
出願日： 1994年05月12日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】大型で重量のある基板でも確実に保持することができ、また、裏面を観察するために、基板を180°回動させても、基板が脱落する恐れのない、基板を保持するための保持アームを備えた基板外観検査装置を提供する。【構成】基板外観検査装置は、基板2を保持する保持アーム3と、この保持アームを2軸を中心として夫々回動させる回動機構とを有する。また、検査中、この保持アームが回動機構により回動されているときに、保持アームの保持部3a上に保持された基板が、この基板の面に対して垂直並びに水平方向に移動するのを規制する複数の可動規制部材6a,7a,8aと固定規制部材6b,7b,8b,8bを有し、これら可動規制部材は基板の面に対して水平方向に移動して、組をなす固定規制部材との間で基板を挟持し、かつ吸着機構5で保持する。

請求項（抜粋）：

検査される基板を保持する保持部材と、この保持部材の基端部に設けられ、この保持部材を2軸を中心として夫々回動させる回動機構とを具備し、保持部材に載置された基板の面方向の位置決めをする規制手段と、保持部材が回動機構により回動されているときに、基板が、この基板の面に対して垂直並びに水平方向に移動するのを阻止する保持手段とを具備し、前記規制手段は、少なくとも1つが前記保持部材に基板の面に対して水平方向に移動可能に設けられた複数の規制部材を有し、規制部材間で基板を挟持して位置決めすることを特徴とする基板外観検査装置。

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開平1-100508
フオトマスクの自動搬送装置及びフオトマスク検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-296003 出願人：セイコーエプソン株式会社
真空吸着用フィンガ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-040618 出願人：キヤノン株式会社

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審査官引用 (9件)

特開平1-100508
特開平3-101119
基板保持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-057512 出願人：キヤノン株式会社

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