反射防止膜付き基板の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤村康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-202224
公開番号（公開出願番号）：特開2004-126530
出願日： 2003年07月28日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】厳しい環境下においても膜剥れのない膜付着力が良好な反射防止膜付き基板を提供する。【解決手段】透明基板1上に反射防止膜が形成された反射防止膜付き基板の製造方法であって、前記反射防止膜1は、透明基板1側から珪素、錫、酸素を含む材料からなる中屈折率層2と、チタン、ニオブ、タンタル、ハフニウムから選ばれる1種の元素と酸素を含む材料からなる高屈折率層3と、珪素、酸素を含む材料からなる低屈折率層4とを有する積層膜であり、該反射防止膜は、インライン型スパッタリング装置にて連続的に成膜することを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

透明基板上に反射防止膜が形成された反射防止膜付き基板の製造方法であって、前記反射防止膜は、透明基板側から珪素、錫、酸素を含む材料からなる中屈折率層と、チタン、ニオブ、タンタル、ハフニウムから選ばれる1種の元素と酸素を含む材料からなる高屈折率層と、珪素、酸素を含む材料からなる低屈折率層とを有する積層膜であり、該反射防止膜は、インライン型スパッタリング装置にて連続的に成膜することを特徴とする反射防止膜付き基板の製造方法。

IPC (5件)：

G02B1/11 , B32B9/00 , C03C17/34 , C23C14/06 , G02F1/1333

FI (5件)：

G02B1/10 A , B32B9/00 A , C03C17/34 Z , C23C14/06 N , G02F1/1333 500

Fターム (54件)：

2H090JA07 , 2H090JB02 , 2H090JB12 , 2H090JC07 , 2H090JD06 , 2H090JD08 , 2H090JD17 , 2K009AA06 , 2K009CC03 , 2K009DD04 , 4F100AB11B , 4F100AB11D , 4F100AB12C , 4F100AB21B , 4F100AG00A , 4F100AR00A , 4F100AR00E , 4F100BA04 , 4F100BA05 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100BA10D , 4F100BA26 , 4F100DD07A , 4F100EH66B , 4F100EH66C , 4F100EH66D , 4F100GB48 , 4F100JG01E , 4F100JL11 , 4F100JN01A , 4F100JN01E , 4F100JN06B , 4F100JN06C , 4F100JN18A , 4F100JN18B , 4F100JN18C , 4F100JN18D , 4F100YY00A , 4F100YY00B , 4F100YY00C , 4F100YY00D , 4G059AA01 , 4G059AA08 , 4G059AC04 , 4G059EB04 , 4G059GA02 , 4G059GA04 , 4K029BA16 , 4K029BA17 , 4K029BA46 , 4K029BA47 , 4K029CA05 , 4K029DC02

引用特許：

審査官引用 (7件)

プラズマディスプレイパネル用前面ガラス、プラズマディスプレイパネル及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-245855 出願人：旭硝子株式会社
透明基板、電気光学装置及び投射型表示装置、並びに透明基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-098144 出願人：セイコーエプソン株式会社
4つのスパッタ層を有する広帯域反射防止被膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-373638 出願人：ザビーオーシーグループインコーポレイテッド

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