特許

J-GLOBAL ID：200903012366326719

圧力センサ

発明者： 馬場 広伸 ,  加藤 之啓 ,  野村 浩 ,  小池 晴久
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-122335
公開番号（公開出願番号）：特開2003-315193
出願日： 2002年04月24日
公開日（公表日）： 2003年11月06日
要約：

【要約】【課題】 排気ガス等の圧力を検出する過酷な環境での使用に適した圧力センサを提供する。【解決手段】 一面側に第1の凹部11a、反対面側に第1の凹部11aと連通する第2の凹部11bを有するケース10と、両凹部11a、11bとの連通部を遮断するように第1の凹部11a内に設けられたセンサ素子20と、両凹部11a、11bの内部に充填されたオイル70と、第1の凹部11aを覆ってオイル70を封止する第1のダイアフラム81と、第2の凹部11bを覆ってオイル70を封止する第2のダイアフラム82とを備え、各ダイアフラム81、82に印加された圧力がそれぞれ、オイル70を介してセンサ素子20に受圧され差圧検出が行われる。ここで、第1および第2のダイアフラム81、82は、(Cr+3.3Mo+20N)で表される孔食指数が50以上であり且つNiを30重量%以上含む材料からなる。

請求項（抜粋）：

圧力検出用のセンサ素子(20、220)がダイアフラム(81、82、201)を介して被測定圧力を受圧するようにした圧力センサにおいて、前記ダイアフラムは、(Cr+3.3Mo+20N)で表される孔食指数が50以上であり且つNiを30重量%以上含む材料からなることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 19/06 ,  G01L 13/02

FI (2件)：

G01L 19/06 A ,  G01L 13/02 A

Fターム (11件)：

2F055AA27 ,  2F055AA31 ,  2F055BB05 ,  2F055CC02 ,  2F055DD01 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055FF38 ,  2F055GG12 ,  2F055GG22 ,  2F055GG25

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 圧力センサの金属製ダイヤフラム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-164405   出願人：株式会社長野計器製作所
• 差圧センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-168267   出願人：日立建機株式会社
• 特開昭60-061637
  
• 圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-082080   出願人：株式会社デンソー