特許

J-GLOBAL ID：200903012391907866

冷却ガス機構を備えた分子真空ポンプ及びその作動方法

発明者： アルミーン・コンラッド
出願人/特許権者： プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-018567
公開番号（公開出願番号）：特開平8-326687
出願日： 1996年02月05日
公開日（公表日）： 1996年12月10日
要約：

【要約】【目的】 分子真空ポンプに冷却ガスを供給してロータを効果的に冷却する。【構成】 本発明は、冷却ガスを導入してロータを冷却するようにした分子真空ポンプに関する。冷却ガスには、熱伝導率が大きく内部摩擦が小さいガスを用いる。冷却ガスの導入量は、一方ではその導入によってポンプ動作が損なわれることがないように、他方では最適の冷却効果が得られるように定める。冷却ガスの注入位置は、高真空側とすることも、背圧側とすることも、或いは、それらの中間位置とすることもできる。

請求項（抜粋）：

気体の輸送並びに圧力比の発生及び維持のための分子真空ポンプ及び該分子真空ポンプの作動方法において、吸入口フランジ部(10)と気体排出口(11)との間に補助的なガス注入口(12、13ないし14)を備え、該ポンプを冷却するために、また特にそのロータを冷却するために、前記ガス注入口を介して、該ポンプの内部空間へ、圧縮すべき気体の熱伝導率より大きな熱伝導率を有する冷却ガスを注入することを特徴とする分子真空ポンプ及びその作動方法。

IPC (2件)：

F04D 19/04 ,  F04D 29/58

FI (2件)：

F04D 19/04 G ,  F04D 29/58 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-138484
  
• 特開平4-353295
  
• ターボ分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-101767   出願人：国際電気株式会社
• 真空ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-158491   出願人：山口日本電気株式会社