特許
J-GLOBAL ID：200903012479423311
セラミックと金属が複合化されたスパッタリングターゲット材の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
新部 興治 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-321816
公開番号（公開出願番号）：特開平10-158825
出願日： 1996年12月02日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：
【要約】【課題】 高密度に固化成形できていないことやセラミックが凝集するといったことから機械加工時に割れや欠けが生じるといった従来技術に見られる種々の問題点を改善した、セラミックと金属が複合化されたスパッタリングターゲット材の製造方法を提供する。【解決手段】 金属製カプセルに、セラミック粉末と金属粉末の混合粉末を適量収容して脱気密封し、このカプセルを加熱して加圧圧縮用金型内で強圧し、ついでこのカプセルを取出して冷却し、カプセルに由来する金属部分を除去して、高密度のセラミックと金属が複合化されたターゲット材を製造する方法において、混合粉末に、金属粉末の表面に多数のセラミック微粉末が付着された形態の混合粉末を用いることを特徴とするセラミックと金属が複合化されたスパッタリングターゲット材の製造方法。
請求項（抜粋）：
金属製カプセルに、セラミック粉末と金属粉末の混合粉末を適量収容して脱気密封し、このカプセルを加熱して加圧圧縮用金型内で強圧し、ついでこのカプセルを取出して冷却し、カプセルに由来する金属部分を除去して、高密度のセラミックと金属が複合化されたターゲット材を製造する方法において、混合粉末に、金属粉末の表面に多数のセラミック微粉末が付着された形態の混合粉末を用いることを特徴とするセラミックと金属が複合化されたスパッタリングターゲット材の製造方法。
IPC (4件)：
C23C 14/34
, B22F 3/14
, C22C 1/05
, B22F 1/02
C23C 14/34 A
, C22C 1/05 A
, B22F 1/02 D
, B22F 3/14 A
