特許
J-GLOBAL ID：200903012501574728
真空ポンプの改良
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-206612
公開番号（公開出願番号）：特開2000-064975
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：
【要約】【課題】 改善された動力消費量と改善された入口速度とを結合させたスクリューポンプを提供する。【解決手段】 スクリュー機構部分を有し、ポンプ本体内のシャフトに取付けられた2つの雄ねじ付きロータを有し、ガスをロータの作用によってポンプ入口からポンプ出口にポンピングするために、ロータは、ロータのねじ山の噛み合いで且つねじ山と第1室内面との間の厳密な公差でポンプ本体の第1室内で反対に回転するようになっている複合真空ポンプにおいて、各ロータの谷径がポンプ入口からポンプ出口への方向に減少し且つ各ロータのねじ山径が前記方向に増大し、複合真空ポンプが、シャフトに取付けられた2つのルーツ型ロータからなるルーツ機構部分を更に含み、ルーツ型ロータはポンプの入口端に位置したポンプ本体の第2室内で反対に回転するようになっている。
請求項（抜粋）：
スクリュー機構部分を有し、ポンプ本体内のシャフトに取付けられた2つの雄ねじ付きロータを有し、ガスを前記ロータの作用によってポンプ入口からポンプ出口にポンピングするために、前記ロータは、前記ロータのねじ山の噛み合いで且つねじ山と第1室内面との間の厳密な公差でポンプ本体の第1室内で反対に回転するようになっている、複合真空ポンプにおいて、前記各ロータの谷径がポンプ入口からポンプ出口への方向に減少し且つ各ロータのねじ山径が前記方向に増大し、前記複合真空ポンプが、前記それぞれのシャフトに取付けられた2つのルーツ型ロータからなるルーツ機構部分を更に含み、前記ルーツ型ロータはポンプの入口端に位置したポンプ本体の第2室内で反対に回転するようになっている、前記複合真空ポンプ。
IPC (3件)：
F04C 25/02
, F04C 18/16
, F04C 23/00
F04C 25/02 A
, F04C 18/16 J
, F04C 23/00 F
