固体撮像素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-134612
公開番号（公開出願番号）：特開平10-326885
出願日： 1997年05月26日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】【課題】集光効率を高めて感度向上を図ると共に、受光センサ部上に遮光膜を設けることなくスミアをなくすようにした固体撮像素子の提供が望まれている。【解決手段】シリコン基板(基体)2の表層部に設けられて光電変換をなす受光センサ部3と、受光センサ部3から読み出された信号電荷を転送する電荷転送部5と、シリコン基板2上に絶縁膜を介して設けられた転送電極8、10とを備えてなる。受光センサ部3上における、転送電極8、10の側壁面にはこれを覆って層間絶縁膜11が設けられている。層間絶縁膜11に囲まれた箇所には透明膜12が埋め込まれている。透明膜12の屈折率は、層間絶縁膜11の屈折率より大である。

請求項（抜粋）：

基体の表層部に設けられて光電変換をなす受光センサ部と、該受光センサ部から読み出された信号電荷を転送する電荷転送部と、前記基体上の、前記電荷転送部の略直上位置に絶縁膜を介して設けられた転送電極とを備えてなり、前記受光センサ部上における、前記転送電極の側壁面に該側壁面を覆って層間絶縁膜が設けられ、かつ前記受光センサ部上における、前記層間絶縁膜に囲まれた箇所に透明膜が埋め込まれ、前記透明膜の屈折率が、層間絶縁膜の屈折率より大であることを特徴とする固体撮像素子。

引用特許：

審査官引用 (7件)

固体撮像素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-011782 出願人：シャープ株式会社
特開平4-343470
特開平4-343470

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