固体撮像素子とその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-214347
公開番号（公開出願番号）：特開平9-064325
出願日： 1995年08月23日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【課題】従来のマイクロオンチップレンズ作製に伴う不都合を解消し、かつ集光効率を高めた固体撮像素子の提供が望まれている。【解決手段】光電変換を行う受光部3と、その受光面3aを覆うことなく設けられた遮光膜10とを備えた固体撮像素子20である。受光部3の受光面3aを覆って第一の透明材料からなるオーバーコート層21を設け、オーバーコート層21における受光面3aの直上部に、受光面3a側に向かって凸となる底面を有した凹部22を設けた。凹部22内に、第一の透明材料より高い屈折率を有する第二の透明材料からなるレンズ部23を埋設した。

請求項（抜粋）：

光電変換を行う受光部と、該受光部の受光面を覆うことなく設けられた遮光膜とを備えた固体撮像素子において、前記受光部の受光面を覆って第一の透明材料からなるオーバーコート層を設け、該オーバーコート層における前記受光部の受光面の直上部に、該受光面側に向かって凸となる底面を有した凹部を設け、該凹部内に、前記第一の透明材料より高い屈折率を有する第二の透明材料からなるレンズ部を埋設したことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L 27/14 , H01L 27/148 , H04N 5/335

FI (3件)：

H01L 27/14 D , H04N 5/335 V , H01L 27/14 B

引用特許：

審査官引用 (19件)

固体撮像装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-241030 出願人：シャープ株式会社
特開昭62-023161
特開昭62-023161

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