特許

J-GLOBAL ID：200903012653117900

光導波路および光導波路の製造方法

発明者： 瀬崎 文康 ,  野尻 仁志 ,  南村 清之
出願人/特許権者： 株式会社カネカ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-217352
公開番号（公開出願番号）：特開2007-033886
出願日： 2005年07月27日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：

【課題】 本発明は、耐熱性・長期信頼性に優れるポリイミド系樹脂の内部に様々なコア径を有する光導波路およびその製造方法を提供する。【解決手段】 ポリイミド系樹脂の内部におけるレーザーパルスの集光照射位置を、カルバノスキャナーを用いて連続的に変化させ、レーザーパルスの集光照射により屈折率変化した部分を形成させることにより、耐熱性・長期信頼性に優れるポリイミド系樹脂の内部に様々なコア径を有する光導波路を製造することができる。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

ポリイミド系樹脂の内部におけるレーザーパルスの集光照射位置を、カルバノスキャナーを用いて連続的に変化させ、レーザーパルスの集光照射により屈折率変化した部分を形成させてなる光導波路。

IPC (1件)：

G02B 6/13

FI (1件)：

G02B6/12 M

Fターム (6件)：

2H147EA17A ,  2H147EA17B ,  2H147FB02 ,  2H147FE04 ,  2H147FF04 ,  2H147FF06

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 光導波路及びその作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-007533   出願人：科学技術振興事業団, 三浦清貴
• 光導波路及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-193507   出願人：松下電工株式会社, 平尾一之