特許
J-GLOBAL ID：200903012700901550

電気光学装置及び検査方法

発明者：
兒島 由里子

兒島 由里子 について


出願人/特許権者：
エプソンイメージングデバイス株式会社

エプソンイメージングデバイス株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-216765
公開番号（公開出願番号）：特開2008-107794
出願日： 2007年08月23日
公開日（公表日）： 2008年05月08日
要約：
【課題】フォトリソグラフィー法で使用される露光装置等、電気光学装置の製造に使用される装置の解像度等の計時変化を検知することが可能な電気光学装置及び検査方法を提供すること。【解決手段】本発明の電気光学装置は、第1電極と第2電極が平行配置された電極対であって、前記第1電極と前記第2電極の間隔が前記電極対毎に異なっている複数組の電極対(51a〜51f)と、共通端子53と、複数個の個別端子55a〜55fと、前記複数組の電極対のうちの一方側の電極と前記共通端子との間を接続するための第1配線52a〜52fと、前記複数組の電極対のうちのそれぞれの他方側の電極と前記複数個の個別端子との間を接続するための第2配線54a〜54fとを備えたことを特徴とする。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
第1電極と第2電極が平行配置された電極対であって、前記第1電極と前記第2電極の 間隔が前記電極対毎に異なっている複数組の電極対パターンと、 共通端子パターンと、 複数個の個別端子パターンと、 前記複数組の電極対のうちの一方側の電極と前記共通端子との間を接続するための第1 配線パターンと、 前記複数組の電極対のうちのそれぞれの他方側の電極と前記複数個の個別端子との間を 接続するための第2配線パターンとを備えたことを特徴とする電気光学装置。
IPC (8件)：
G02F 1/134 ,  H01L 29/786 ,  G09F 9/00 ,  G09F 9/30 ,  H01L 21/027 ,  G03F 1/08 ,  G02F 1/136 ,  G02F 1/13
FI (8件)：
G02F1/1343 ,  H01L29/78 624 ,  G09F9/00 352 ,  G09F9/30 330Z ,  H01L21/30 502V ,  G03F1/08 P ,  G02F1/1368 ,  G02F1/13 101
Fターム (41件)：
2H088FA11 ,  2H088HA02 ,  2H088HA06 ,  2H088HA08 ,  2H088MA20 ,  2H092GA26 ,  2H092GA33 ,  2H092JA24 ,  2H092JB77 ,  2H092MA13 ,  2H092MA56 ,  2H092NA30 ,  2H092PA06 ,  2H095BA01 ,  2H095BC09 ,  2H095BD04 ,  2H095BD23 ,  2H095BE05 ,  5C094AA41 ,  5C094BA43 ,  5C094EA03 ,  5F110AA24 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF09 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG15 ,  5F110HL07 ,  5F110NN02 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5G435AA19 ,  5G435BB12 ,  5G435KK10
引用特許：
出願人引用 (2件)

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