特許
J-GLOBAL ID：200903012707290092

基板移送装置

発明者：
朴 庸碩

朴 庸碩 について

, 
朴 鎬胤

朴 鎬胤 について


出願人/特許権者：
株式会社ディエムエス

株式会社ディエムエス について


代理人 (2件)： 河宮 治 ,  東島 隆治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-145738
公開番号（公開出願番号）：特開2005-330106
出願日： 2005年05月18日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：
【課題】 大面積の基板を上部から下部に安定的に移送することができ、基板を水平な状態から傾斜した状態に効率的に変換して、基板上の異物を傾斜面に沿って容易に落下させて除去することができる基板移送装置を提供する。【解決手段】 本発明による基板移送装置は、フレーム、前記フレーム上に備えられ、上側で基板を移送する第1手段、基板を支持する支持ピンの高さが互いに異なるように構成され、前記第1手段から基板を引き受ける第2手段、前記第2手段から基板を引き受けて基板処理を行う基板処理部に基板を移送する移送手段を含む。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
フレーム; 前記フレーム上に備えられ、上側で基板を移送する第1基板移送手段; 前記第1基板移送手段によって移送される基板の移送方向を反転させる反転手段; 前記反転手段の下側に設置され、前記反転手段によって移送される基板を引き受けて、基板の状態を水平な状態から傾斜した状態に変換する基板姿勢変換手段; 前記基板姿勢変換手段から基板を傾斜した状態で引き受けて、基板処理部に基板を移送する移送手段のローラ;を含む、基板移送装置。
IPC (4件)：
B65G49/06 ,  B65G47/248 ,  B65G47/61 ,  H01L21/68
FI (4件)：
B65G49/06 Z ,  B65G47/61 D ,  H01L21/68 A ,  B65G47/22 B
Fターム (36件)：
3F044AA08 ,  3F044AA13 ,  3F044AB24 ,  3F044BA01 ,  3F044BC00 ,  3F044CA01 ,  3F044CA02 ,  3F044CD08 ,  3F044CD12 ,  3F081AA10 ,  3F081AA22 ,  3F081BD15 ,  3F081BD18 ,  3F081BE03 ,  3F081BF20 ,  3F081CA12 ,  3F081CC11 ,  3F081CC12 ,  3F081CE10 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA13 ,  5F031FA18 ,  5F031GA30 ,  5F031GA38 ,  5F031GA53 ,  5F031GA60 ,  5F031LA07 ,  5F031LA12 ,  5F031PA16 ,  5F031PA18 ,  5F031PA23
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (3件)

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