特許
J-GLOBAL ID：200903012753500468

酸化物薄膜形成用塗布液およびその製造方法ならびに酸化物薄膜の製造方法

発明者：
福井 俊巳

福井 俊巳 について


出願人/特許権者：
株式会社関西新技術研究所

株式会社関西新技術研究所 について


代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-047388
公開番号（公開出願番号）：特開2001-233604
出願日： 2000年02月24日
公開日（公表日）： 2001年08月28日
要約：
【要約】【課題】 成膜性、耐湿性および長期安定性に優れ、成膜後に塗布膜を低温で焼成でき、良好な膜質の酸化物薄膜を形成することが可能である塗布液を製造するための方法を提供する。【解決手段】 金属アルコキシドを加水分解して、金属酸化物またはその前駆体を含有する塗布液を調製する際に、アルコキシアルコールを含む有機溶剤中で、金属アルコキシドに対するモル比が0.1〜10である量の水により金属アルコキシドを加水分解する。
請求項（抜粋）：
金属酸化物および/またはその前駆体を含有する酸化物薄膜形成用塗布液において、1種もしくは2種以上のアルコキシアルコールを主成分とする溶媒中に0.01重量%〜10重量%の水が含有されたことを特徴とする酸化物薄膜形成用塗布液。
IPC (6件)：
C01B 13/14 ,  C01G 23/00 ,  C01G 25/00 ,  C01G 35/00 ,  C09D185/00 ,  H01L 21/316
FI (6件)：
C01B 13/14 Z ,  C01G 23/00 Z ,  C01G 25/00 ,  C01G 35/00 D ,  C09D185/00 ,  H01L 21/316 U
Fターム (34件)：
4G042DA02 ,  4G042DB10 ,  4G042DB11 ,  4G042DC01 ,  4G042DC03 ,  4G042DD02 ,  4G042DD10 ,  4G042DE09 ,  4G042DE14 ,  4G047CA07 ,  4G047CA08 ,  4G047CC02 ,  4G047CD02 ,  4G047CD07 ,  4G047CD08 ,  4G048AA04 ,  4G048AC02 ,  4G048AD02 ,  4G048AD08 ,  4J038AA011 ,  4J038HA156 ,  4J038HA161 ,  4J038HA166 ,  4J038JA16 ,  4J038JA17 ,  4J038KA06 ,  4J038NA17 ,  4J038NA19 ,  4J038PA19 ,  4J038PB09 ,  5F058BA07 ,  5F058BC03 ,  5F058BF46 ,  5F058BH01
引用特許：
審査官引用 (8件)
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