特許
J-GLOBAL ID:200903012761228297

周期分極反転構造の形成方法、周期分極反転構造および光導波路素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 細田 益稔 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-067875
公開番号(公開出願番号):特開2003-270687
出願日: 2002年03月13日
公開日(公表日): 2003年09月25日
要約:
【要約】【課題】強誘電体単結晶基板の一表面上に設けられた第一の電極と、この第一の電極と対向するように基板に設けられた第二の電極との間に電圧を印加することにより、基板内に周期分極反転構造を形成するのに際して、電圧印加の際に強誘電体単結晶にダメージが発生するのを抑制する。【解決手段】第一の電極が、周期的に配列された複数の電極片2からなる電極片配列体32、電極片2に対して給電するための給電電極1、および給電電極1に対して接続されているプロービングパッドを備えている。給電電極1のプロービングパッドとは反対側の終端部1bに、電極片2の幅よりも大きい幅を有する拡幅片部7を備えている。
請求項(抜粋):
強誘電体単結晶基板の一表面上に設けられた第一の電極と、この第一の電極と対向するように前記強誘電体単結晶基板に設けられた第二の電極との間に電圧を印加することにより、前記強誘電体単結晶基板内に周期分極反転構造を形成する方法であって、前記第一の電極が、周期的に配列された複数の電極片からなる電極片配列体、前記電極片に対して給電するための給電電極、および前記給電電極に対して接続されているプロービングパッドを備えており、前記給電電極の前記プロービングパッドとは反対側の終端部に前記電極片の幅よりも大きい幅を有する拡幅片部を備えていることを特徴とする、周期分極反転構造の形成方法。
Fターム (6件):
2K002AB12 ,  2K002CA03 ,  2K002DA06 ,  2K002FA27 ,  2K002GA04 ,  2K002HA20
引用特許:
審査官引用 (4件)
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