特許

J-GLOBAL ID：200903012803738932

電子線用化学増幅ネガ型レジスト組成物

発明者： 竹山 尚幹 ,  楠本 武宏 ,  植田 裕治 ,  中野 由子 ,  岡 裕美
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-295204
公開番号（公開出願番号）：特開平8-152717
出願日： 1994年11月29日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：

【要約】【目的】 高感度及び高解像度の電子線用化学増幅ネガ型レジスト組成物を提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂、酸発生剤及び架橋剤からなる電子線用化学増幅ネガ型レジスト組成物において、アルカリ可溶性樹脂がその主成分として部分的にアルキルエーテル化されたポリビニルフェノールを含有し、酸発生剤がN-ヒドロキシイミド化合物のスルホン酸エステルであり、架橋剤がメチロール基又はメチロールエーテル基を含む化合物であることを特徴とする電子線用化学増幅ネガ型レジスト組成物。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、酸発生剤及び架橋剤からなる電子線用化学増幅ネガ型レジスト組成物において、アルカリ可溶性樹脂がその主成分として部分的にアルキルエーテル化されたポリビニルフェノールを含有し、酸発生剤がN-ヒドロキシイミド化合物のスルホン酸エステルであり、架橋剤がメチロール基又はメチロールエーテル基を含む化合物であることを特徴とする電子線用化学増幅ネガ型レジスト組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/038 505 ,  C08F 2/50 MDN ,  G03F 7/004 503

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ネガ型感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-190059   出願人：三菱化成株式会社
• ネガ型フォトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-005797   出願人：住友化学工業株式会社