ネガ型感光性組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-190059
公開番号（公開出願番号）：特開平5-034921
出願日： 1991年07月30日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：

【要約】【構成】 (a)アルカリ可溶性フェノール樹脂の水素添加物、(b)248nmの波長のグラム吸光係数が20(l/g・cm)以下であり、かつ酸性条件下でフェノール樹脂と反応する架橋剤及び(c)光酸発生剤を含有するネガ型感光性組成物【効果】本発明のネガ型感光性組成物は、遠紫外光の吸光度が小さく、しかも高解像度のパターンプロフィールを達成することが可能であり、特に遠紫外線用フォトレジストとして極めて有用である。

請求項（抜粋）：

(a)アルカリ可溶性フェノール樹脂の水素添加物、(b)248nmの波長のグラム吸光係数が20(l/g・cm)以下であり、かつ酸性条件下でフェノール樹脂と反応する架橋剤及び(c)光酸発生剤を含有するネガ型感光性組成物

IPC (4件)：

G03F 7/038 505 , G03F 7/004 503 , G03F 7/029 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平3-107162
特開昭59-113435
特開平3-075652

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