特許
J-GLOBAL ID：200903012845881883

ウェーハ研磨装置

発明者：
沼本 実

沼本 実 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-128558
公開番号（公開出願番号）：特開2000-317819
出願日： 1999年05月10日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハがキャリアに接触し傷が付くのを防止するための保護シートを設けると共に、その交換取付作業を容易にする。【解決手段】 本発明のウェーハ研磨装置は、ウェーハ保持ヘッド20のキャリア32にリテーナリング40をOリング31で保持させるようにしている。またウェーハ2の保護シート80をリテーナリングで保持し、キャリアのエア吹出部材34の表面を覆うようにしている。これにより、ウェーハの保持中及び研磨作業中のいずれにおいてもウェーハの裏面は直接キャリアに接触することなく、ウェーハの裏面とキャリアとの間に保護シートを介在させることになる。
請求項（抜粋）：
ウェーハを保持ヘッドに保持し、回転する研磨定盤上の研磨パッドに押圧して、ウェーハの表面を研磨するウェーハ研磨装置において、前記保持ヘッドが、回転すると共に前記研磨定盤に対向配置されるヘッド本体と、前記ヘッド本体に上下方向移動自在に遊嵌支持されたキャリアと、前記ウェーハの周囲を包囲し、ウェーハと共に前記研磨パッドに接触されるリテーナリングとを備え、前記リテーナリングを前記キャリアにOリングで保持されるようにしたことを特徴とするウェーハ研磨装置。
IPC (3件)：
B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304
FI (4件)：
B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 622 G ,  H01L 21/304 622 K ,  H01L 21/304 622 H
Fターム (9件)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA12 ,  3C058AA15 ,  3C058AB04 ,  3C058BA05 ,  3C058CB02 ,  3C058CB04 ,  3C058DA17
引用特許：
審査官引用 (4件)
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