感光性樹脂組成物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鐘尾宏紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-255215
公開番号（公開出願番号）：特開2002-072473
出願日： 2000年08月25日
公開日（公表日）： 2002年03月12日
要約：

【要約】【課題】キノンジアジドジアジド基を含む感光剤の使用量のいかんによらず、高残膜性および高感度化を両立させることが実用上可能で、塗布性およびレジストパターンの線幅均一性にも優れ、プロセス依存性が低く且つ良好なパターンを形成することができる感光性樹脂組成物を提供する。【構成】アルカリ可溶性樹脂およびキノンジアジドジアジド基を含む感光剤を含有する感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂としてノボラック樹脂と3,000〜15,000のポリスチレン換算重量平均分子量を有するノボラック樹脂と、3,000〜25,000のポリスチレン換算重量平均分子量を有するスチレン系樹脂との混合物を用いた感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂およびキノンジアジド基を含む感光剤を含有する感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂が、3,000〜15,000のポリスチレン換算重量平均分子量を有するノボラック樹脂と、3,000〜25,000のポリスチレン換算重量平均分子量を有するスチレン系樹脂との混合物からなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/032 , C08K 5/13 , C08K 5/42 , C08L 61/06 , G03F 7/004 501 , G03F 7/022 , C08L 25:04

FI (7件)：

G03F 7/032 , C08K 5/13 , C08K 5/42 , C08L 61/06 , G03F 7/004 501 , G03F 7/022 , C08L 25:04

Fターム (25件)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB16 , 2H025CB29 , 2H025CB55 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 4J002BC022 , 4J002BC032 , 4J002BC042 , 4J002CC031 , 4J002EE056 , 4J002EJ017 , 4J002EJ047 , 4J002EQ036 , 4J002EV236 , 4J002FD206 , 4J002FD207 , 4J002GP03

引用特許：

審査官引用 (8件)

カラーフィルター用レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-344339 出願人：住友化学工業株式会社
カラーフィルター要素用組成物、マイクロレンズアレイ用組成物、カラーフィルター要素、マイクロレンズアレイ及びこれらの要素又はアレイを有するカラーフィルターの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-097748 出願人：住友化学工業株式会社
特開昭62-151845

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